無塵廠房的排風(fēng)及排氣處理

無塵廠房的排風(fēng)及排氣處理主要包括一般排風(fēng)系統(tǒng)、熱排風(fēng)系統(tǒng)、酸性排風(fēng)系統(tǒng)、堿性排風(fēng)系統(tǒng)、特種氣體排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)等。各種排風(fēng)系統(tǒng)排出的氣體中所含物質(zhì)及其濃度不同，且排出氣體中所含物質(zhì)的物化性質(zhì)常常決定了排氣系統(tǒng)的形式、組成和處理方法，特別是近年來電子工業(yè)中集成電路、光電顯示器等的制造過程使用數(shù)十種特種氣體、高純化學(xué)品。使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備排出的氣體中含有氧化性、腐蝕性、酸性、堿性等物質(zhì)，有些工藝生產(chǎn)設(shè)備排出的氣體中物質(zhì)的濃度還較高，并且這些物質(zhì)常常對(duì)人體傷害大，遠(yuǎn)超過衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的“限值”；所以在設(shè)置有此類生產(chǎn)工藝設(shè)備的無塵廠房?jī)?nèi)將排風(fēng)系統(tǒng)分為集中或中央氣體處理系統(tǒng)和現(xiàn)場(chǎng)氣體處理裝置或尾氣處理設(shè)備。通常將尾氣處理設(shè)備設(shè)在相關(guān)的生產(chǎn)工藝設(shè)備鄰近處或無塵廠房的下技術(shù)夾層內(nèi)，工藝設(shè)備的排氣管以很短的距離排入尾氣處理裝置進(jìn)行相應(yīng)方法的處理，達(dá)到要求或可達(dá)到的濃度后再經(jīng)排氣管道輸送至集中廢氣處理裝置。經(jīng)過相應(yīng)方法的處理去除達(dá)到規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)后排放至大氣，目前電子工業(yè)無塵廠房中的一些生產(chǎn)工藝設(shè)備可配套提供尾氣處理裝置。

一般排風(fēng)系統(tǒng)主要用于滿足房間通風(fēng)換氣次數(shù)的要求和一般工藝設(shè)備排風(fēng)的要求。風(fēng)管通常采用鍍鋅鐵皮制作，風(fēng)管斷面有矩形和圓形，矩形金屬風(fēng)管的制作，圓形風(fēng)管通常采用螺旋風(fēng)管或鐵皮卷制，螺旋風(fēng)管一般由專門廠家生產(chǎn)，包括三通、彎頭、大小頭、偏心管等。圓形螺旋風(fēng)管通常采用角鋼活套法蘭的形式及無法蘭形式連接。無論是矩形風(fēng)管還是成品的螺旋風(fēng)管，其制作標(biāo)準(zhǔn)都須符合現(xiàn)行相關(guān)規(guī)范的要求。純水站、污水處理站、動(dòng)力站、變電站、空調(diào)機(jī)房等動(dòng)力輔助用房應(yīng)設(shè)置一般排風(fēng)系統(tǒng)；無塵廠房的換鞋間、衛(wèi)生間、真空泵房等與無塵廠房相關(guān)的功能房間應(yīng)設(shè)置一般排風(fēng)系統(tǒng)。熱排風(fēng)系統(tǒng)主要用于工藝設(shè)備的散熱排風(fēng)，熱排風(fēng)系統(tǒng)一般都單獨(dú)設(shè)置，不得與酸性或堿性排風(fēng)、特種氣體排風(fēng)、有機(jī)排風(fēng)等系統(tǒng)連接混合排氣，風(fēng)管須保證與周邊環(huán)境的安全距離。若熱排風(fēng)風(fēng)管對(duì)設(shè)備、管線等部位或?qū)o塵廠房的溫濕度造成影響時(shí)，宜對(duì)排風(fēng)管進(jìn)行保溫處理。熱排風(fēng)一般不需要進(jìn)行處理就可直接排入大氣，系統(tǒng)材質(zhì)采用鍍鋅鋼板。堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)主要用于生產(chǎn)工藝設(shè)備排出的含有堿性污濁物質(zhì)的排氣，一般經(jīng)排風(fēng)管道集中輸送至填料洗滌塔進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)后方可排放；風(fēng)機(jī)應(yīng)采用玻璃鋼風(fēng)機(jī)，變頻控制，排風(fēng)管末端應(yīng)設(shè)置壓差傳感器與對(duì)應(yīng)風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖。中凈環(huán)球凈化可提供凈化車間、潔凈廠房等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

酸性氣體排風(fēng)處理系統(tǒng)主要用于生產(chǎn)工藝設(shè)備等排出的含有酸性污濁物質(zhì)的排氣，由于產(chǎn)品生產(chǎn)工藝不同，在依據(jù)生產(chǎn)工藝要求使用各類酸性化學(xué)品反應(yīng)后排出的氣體中酸性物質(zhì)的濃度會(huì)有不同。集中的酸氣體系統(tǒng)應(yīng)采用填料洗滌式設(shè)備，有機(jī)物氣體處理系統(tǒng)主要用于生產(chǎn)工藝設(shè)備排出的含有揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)的排氣，這類排氣中含各種不同碳?xì)浠衔镄螒B(tài)的有機(jī)物質(zhì)，基本上均屬于可燃、有刺激氣味的氣體，對(duì)作業(yè)人員的健康、環(huán)境空氣質(zhì)量影響大，應(yīng)合理采用不同的處理方法對(duì)其進(jìn)行處理。據(jù)了解，目前在微電子無塵廠房中當(dāng)揮發(fā)性有機(jī)物的濃度不超過50mg/m³時(shí)，可采用活性炭吸附法;不超過1000mg/m³時(shí)，宜采用轉(zhuǎn)輪濃縮法等;高于1000mg/m³時(shí)，宜采用熱氧化法。

基本要求：無塵廠房的排風(fēng)與特種氣體處理是確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境和空氣潔凈度要求的重要環(huán)節(jié)，為使排風(fēng)與氣體處理設(shè)備的施工質(zhì)量真正做到滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，GB51110中提出了排風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)的材料、附件和設(shè)備應(yīng)符合工程設(shè)計(jì)圖紙的要求。由于無塵廠房的排風(fēng)與特種氣體處理系統(tǒng)排出的排氣都程度不同地對(duì)環(huán)境或公共衛(wèi)生有一定的影響，所以排風(fēng)與特種氣體處理系統(tǒng)所用的材料、附件和設(shè)備除應(yīng)符合工程設(shè)計(jì)文件的要求外，還應(yīng)遵守相關(guān)環(huán)境保護(hù)、公共衛(wèi)生方面國(guó)家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的規(guī)定。排風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)的施工材料、附件和設(shè)備應(yīng)具有產(chǎn)品合格證書和進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)辦理的手續(xù)、質(zhì)量記錄等。這些均為確保排風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)施工質(zhì)量的基本條件。對(duì)于排風(fēng)與特種氣體處理施工中的隱蔽工程，應(yīng)經(jīng)過驗(yàn)收并做好記錄后再進(jìn)行隱蔽。排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按風(fēng)管內(nèi)的排氣類型及其介質(zhì)種類、不同濃度進(jìn)行管道涂色標(biāo)識(shí)，對(duì)人體健康有影響的排風(fēng)應(yīng)作出特殊標(biāo)識(shí);管路應(yīng)標(biāo)明流向，這是避免隱患和確保排風(fēng)與特種氣體處理系統(tǒng)正常、安全可靠運(yùn)行和維修管理的要求。鑒于排風(fēng)與特種氣體處理系統(tǒng)與凈化空調(diào)系統(tǒng)的關(guān)聯(lián)性和各排風(fēng)系統(tǒng)與產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的關(guān)聯(lián)性、獨(dú)立性，所以排風(fēng)系統(tǒng)的調(diào)試與試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)與凈化空調(diào)系統(tǒng)同步進(jìn)行，各個(gè)氣體處理與排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)分別單獨(dú)地進(jìn)行調(diào)試和試運(yùn)轉(zhuǎn)。

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